Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme

Leitung: Prof. Dr. Walter Lang, Prof. Dr. Michael Vellekoop

Das im Jahre 1992 gegründete Institut unter der Leitung von Prof. Dr. W. Lang und Prof. Dr. M. Vellekoop verfügt in zwei Reinraumbereichen (300qm bzw. 100qm Nettofläche) über eine modernste apparative Ausstattung zur Mikrostrukturierung von Silizium und anderen Materialien bis zu einer Substratgröße von 150mm. Diese technologische Plattform gestattet die Bearbeitung von Projekten im Rahmen der Mikrosystemtechnik (MST) vom Entwurf bis zur Prototypenfertigung. Seit 1999 ist das IMSAS nach DIN EN ISO 9001/2000 zertifiziert. Der Schwerpunkt der Forschungs- und Entwicklungsarbeiten des Instituts ist die Entwicklung von miniaturisierten, multifunktionalen Systemen auf der Basis von mikrosystemtechnischen Komponenten. In Zusammenarbeit mit den Spinn-Offs des MCB kann die volle Kette, von der Forschung und Entwicklung bis zur Produktion der Mikrosysteme, in Bremen abgebildet werden.

Homepage: www.imsas.uni-bremen.de