Anwendungsgebiete

Die Mikrosystemtechnik kann in vielen Bereichen und Anwendungen zum Einsatz kommen. Die einzelnen Komponenten, Sensoren, Aktoren und Systeme übernehmen lediglich Teilfunktionen in einem Gesamtsystem. Für den Einsatz von mikrosystemtechnisch-gefertigten Komponenten sprechen im wesentlichen drei Argumente:

  • Aufgrund der sehr kleinen Abmessungen im Bereich von wenigen Mikrometern bietet sich der Einsatz von mikrosystemtechnischen Komponenten gerade in schwer zugänglichen Umgebungen und kleinen Systemen an.
  • Aufgrund der geringen Größe von mikrosystemtechnischen Bauteilen und Komponenten ist der Energieverbrauch entsprechend gering.
  • Durch die Batch-Fabrikation, d. h. die gleichzeitige Fertigung von vielen Systemen auf einem Wafer, sind bei entsprechend hohen Stückzahlen die Stückkosten sehr gering.

Die Hauptarbeitsfelder des MCB sind die Automobil-, Medizin-, Umwelt-, Industrietechnik und Logistik. Im Vordergrund stehen Sensoren und Aktoren in Verbindung mit entsprechenden Signalverarbeitungen sowie mit und ohne telemetrischer Daten- und Energieübertragung. Durch die kabellose telemetrische Übertragung können auch physikalische Größen in rotierenden und schwerzugängigen Systemen erfaßt werden.